光譜共焦傳感器作為一種新型的高精度傳感器，其測量精度最高可達±0.02%。相比于光柵、容柵或電感調頻、電感差動變壓器式的位移傳感器，其在位移測量方面的優勢更加明顯。如今，由于光譜共焦傳感器有著高精度、非接觸測量等優勢，因此，其在幾何量精密測量方面的應用越來越廣泛，如漫反射及平面反射的位移測量、平面度測量、薄膜及透明材料厚度測量、表面粗糙度測量等。 在位移測量方面，自光譜共焦傳感器問世以來，它的主要功能便是測量位移。馬敬等對光譜共焦傳感器的色散物鏡進行研究，設計了色散物鏡的結構，提高了光譜共焦傳感器的各項性能；畢超等利用光譜共焦傳感器實現了對航空發動機轉子葉尖間隙的高精度、高效率的測量。